エア・ウォーターは世界で初めて大面積8インチSiConSi基板の量産技術開発に成功

 エア・ウォーター<4088.T>はこの日大引け後にパワー半導体やLED(発光ダイオード)向け下地基板として、世界で初めて高品質なSiC(シリコンカーバイト)基板を最大8インチまで生産できる技術を開発し、量産体制を整えたことを発表した。安価なSi(シリコン)基板を用いて、その表面上に高品質SiC単結晶薄膜を量産する技術で、大面積化、結晶の高品質化、低コスト化を同時に達成することにより、パワー半導体やLEDの普及加速に貢献が期待される。

出所:株経通信(株式会社みんかぶ)